藍(lán)英裝備（300293）：國產(chǎn)光刻機(jī)龍頭股，
公司瑞士子公司UCMAG主要為光學(xué)和精密儀器行業(yè)提供清洗設(shè)備，UCMAG為ASML及其供應(yīng)商提供極紫外光刻機(jī)（EUV）的光學(xué)系統(tǒng)相關(guān)關(guān)鍵部件的清洗設(shè)備。
近30日股價(jià)下跌5.68%。
海立股份（600619）：國產(chǎn)光刻機(jī)龍頭股，
近30日股價(jià)上漲6.21%。
冠石科技（605588）：國產(chǎn)光刻機(jī)龍頭股，
回顧近30個(gè)交易日，冠石科技下跌5.19%，最高價(jià)為54.58元，總成交量3974.5萬手。
國產(chǎn)光刻機(jī)股票其他的還有：
大族激光（002008）：大族激光近7個(gè)交易日，期間整體上漲6.82%，最高價(jià)為37.8元，最低價(jià)為43.5元，總成交量2.13億手。面板上游設(shè)備國產(chǎn)配套，國內(nèi)激光設(shè)備龍頭。
普利特（002324）：近7個(gè)交易日，普利特上漲18.01%，最高價(jià)為12.66元，總市值上漲了32.04億元，上漲了18.01%。間接參股蘇州理碩科技，其涉及光刻膠研發(fā)。
奧普光電（002338）：近7個(gè)交易日，奧普光電上漲1.2%，最高價(jià)為57.54元，總市值上漲了1.68億元。公司子公司禹衡光學(xué)產(chǎn)品在國產(chǎn)高精度數(shù)控機(jī)床，特別是五軸加工中心、高精度磨床等已經(jīng)實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用。
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