據(jù)南方財(cái)富網(wǎng)概念查詢(xún)工具數(shù)據(jù)顯示，相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備零部件概念股有：
至純科技603690：公司在高純度工藝系統(tǒng)及半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備領(lǐng)域可以做到較好的國(guó)產(chǎn)替代。
近30日至純科技股價(jià)上漲20.59%，最高價(jià)為34.3元，2025年股價(jià)上漲24.84%。
旭光電子600353：子公司儲(chǔ)翰科技是國(guó)內(nèi)唯一依靠自主研發(fā)光電器件自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備能力的企業(yè)。
回顧近30個(gè)交易日，旭光電子股價(jià)上漲19.56%，總市值上漲了16.35億，當(dāng)前市值為157.45億元。2025年股價(jià)上漲61.94%。
正帆科技688596：擬5900萬(wàn)元與多方投資人共同對(duì)鴻舸半導(dǎo)體實(shí)施增資擴(kuò)股。
近30日股價(jià)上漲14.87%，2025年股價(jià)上漲21.33%。
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